Medidor e Controlador de Vazão para Gases Diversos

Detalhes

Os controladores de fluxo de massa de gás devem ser rápidos e precisos para estabelecer um fluxo estável. Nossos controladores de fluxo de massa atingem o setpoint mais rapidamente do que qualquer outro, o que permite que eles suprimam as flutuações na pressão da linha antes de afetarem o processo. Opções customizadas de válvulas e ajuste PID de fábrica garantem que seu MFC tenha um bom desempenho em sua aplicação específica.

A série MC é o nosso controlador de fluxo de massa padrão, com modelos que podem medir taxas de fluxo de até 5000 slpm até 0,0025 sccm. Escolha um MCQ quando suas pressões de linha estiverem altas (145-305 psig). A série MCW é ideal para aplicações com baixa queda de pressão, teste de vazamento e para reduzir o tempo de resposta pneumática a vazões de 50 scccm ou menos.

Se você precisar de um substituto para um controlador de fluxo de massa térmica existente, a série MCE coloca a válvula dentro para adequar suas conexões de processo ao comprimento padrão da SEMI. Para aplicações de vácuo, o MCV adiciona uma válvula de fechamento atuada pneumaticamente ao fator de forma MCE.

Especificações

Precisão: ± (0.8% da leitura + 0.2% escala )
Tempo de resposta: 10 ms
Temperatura de Operação: -10 a 60°C
Alimentação: 7 a 30Vdc
Ranges: desde 0,5sccm até 5000slpm

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Gases Medidos

Gases:
Acetileno, Ar, Argônio, i-butano, n-butano, Dióxido de carbono, Monóxido de carbono, Deutério, Etano, Etileno (eteno), Hélio, Hidrogênio, Krypton, Metano, Néon, Azoto, Óxido nitroso, Oxigênio, Propano, Hexafluoreto de enxofre, Xenon

Gases Corrosivos:
Amônia, Butileno (1-buteno), Cis-Buteno (cis-2-buteno), Iso-buteno, Trans-buteno, Sulfeto de Carbonil, Cloro, Éter dimetil, Sulfeto de, Hidrogênio (H2S), NF3 (Trifluoreto de Nitrogênio), NO (Óxido Nítrico), Propileno (propileno), Silano (SiH4), Dióxido de enxofre

Gases de Refrigeração:
Triclorofluorometano, Cloropentafluoroetano, Hexafluoroetano, Clorotetrafluoroetano, Pentafluoretano, Tetrafluoroetano, Tetrafluorometano, Clorodifluoretano, Trifluoroetano, Difluoroetano, Difluoromonoclorometano, Trifluorometano, Difluorometano, Octafluorociclobutano, 44% de R-125/4% de R-134A / 52% de R-143A, 23% de R-32/25% de R-125/52% de R-134A, 50% de R-32/50% de R-125, 50% de R-125/50% de R-143A

Entre outras combinações de gases …

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